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超LSI時代に、しなやかに対応、高い信頼性と効率を実現した研磨システム
スピードファムの超精密鏡面加工のためのメカノケミカル・ポリッシング専用機は、4軸独立駆動機構(4ドライブ)です。これによって、加工条件の微妙な調節が可能となり、とくにR&D(研究開発)で威力を発揮します。

●加工物シリコンウェーハ・化学物半導体ウェーハ・酸化物ウェーハ・ガラス　など
●特徴 4軸独立駆動機構では、上定盤・下定盤・サンギヤ・インターナルギアの4軸が独立した駆動源で回転し、回転数・回転方向を自由に設定することができます。これにより任意の回転条件の設定が可能となり、あらゆる材質に適した諸条件の選択、最適な加工条件を生みだすことが可能です。水冷機構と温度コントロールシステムを装備しています。水冷機構は、ポリッシング時の加工熱の発生をとりのぞき、熱によるゆがみや定盤の変形を防止。加工物の品質を安定させます。温度コントロールシステムは、ポリッシング中のパッド面の温度を測定検出。水冷機構との連動によって、最適の加工条件を保ちつづけます。 ※4D=4軸独立駆動機構

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